微波顯微鏡技術 再次榮獲重大創新獎項提名

http://www.digitimes.com.tw/tw/dt/n/shwnws.asp?id=0000178601_8C05YHC016II49060FD03&ct=1

安捷倫科技(Agilent Technologies Inc.)宣佈，旗下的掃描微波顯微鏡模式(SMM模式)已入選2009 Prism獎10大得獎者名單，評審係由SPIE及Laurin Publishing的Photonics Spectra雜誌顧問團所組成。

SMM 模式在SPIE Photonics West研討會的一場特殊典禮中，正式被表揚為“分析、測試與量測”類的傑出光通訊創新技術。SMM模式先前已獲獨立評審團和R&D Magazine編輯群，提名R&D 100獎。安捷倫開發SMM模式，利用受歡迎的Agilent 5420和Agilent 5600LS原子力顯微鏡，來提供高解析、量化的電磁材料特性描述能力。

台灣安捷倫科技電子量測事業群總經理張志銘表示，很榮幸我們的 SMM模式，能同時獲得R&D 100和Prism獎提名。這項獨特的技術結合微波向量網路分析儀經過校驗的電氣量測功能，以及原子力顯微鏡(AFM)的奈米級空間解析度 (nanoscale spatial resolution)，為半導體材料的評估及生物和材料研究應用提供了一款先進的工具。

根據代表性取樣的資料顯示，安捷倫SMM模式映射材料特性的解析度，將受限於AFM探測的清晰程度。可靠的電磁環境相容性，以及內建的精密電子元件，使SMM模式得以提供校驗過，且比之前利用基於AFM的電氣特性描述技術所能達到還要更靈敏的量測。安捷倫的SMM模式，適用於半導體(不需氧化層)、金屬、介電材料、鐵電材料、絕緣體和生物材料。SMM模式可量測取樣的不同元件與入射微波信號間的靜態或動態電磁交互作用中，所產生的小差異的特性。