日本研制出測量納米級尺寸的超精密尺子

http://big5.xinhuanet.com/gate/big5/news.xinhuanet.com/world/2010-12/21/c_12902286.htm

新華網東京１２月２１日電 日本關西學院大學一個研究團隊２０日宣布，他們研發出一種超精密尺子，可用于測量納米級別的尺寸。

這個團隊來自關西學院大學理工學係。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鑽石的碳化硅為主要材料。碳化硅質地堅硬，很難加工，研究人員為此專門開發出一種新的加工技術。他們把碳化硅放入超真空環境中加熱到約２０００攝氏度，再對其表面進行切削。

採用這一加工技術，研究人員成功使碳化硅材料表面形成了階梯狀構造，階梯的每級“臺階”為０.５納米，相當于尺子的一格刻度。據介紹，研究人員還能把“臺階”的高度做成０.７６納米和１納米。

研究人員表示，這種超精密尺子可廣泛應用于超精密儀器、計算機中央處理器、大規模集成電路等諸多涉及納米技術的領域。新型尺子的耐腐蝕性也比傳統的硅制精密尺子更勝一